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輪廓式測量投影儀的系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)

更新時(shí)間:2022-09-08 點(diǎn)擊量:1012
  輪廓式測量投影儀的系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì),具備高度彈性之組合配置,可針對不同之量測需求配置來符合不同之量測應(yīng)用:搭載電動(dòng)鼻輪,zui多可同時(shí)掛載5種物鏡,使用時(shí)直接切換,省去手動(dòng)更換的麻煩。同時(shí)配備電動(dòng)調(diào)整移動(dòng)平臺(tái),可對樣品作自動(dòng)調(diào)平及定位。垂直與水平軸向掃描范圍大,適合各種自動(dòng)量測之應(yīng)用,樣品皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞、快速的表面形貌量測與分析,使用于業(yè)界研發(fā)生產(chǎn)、制程改善以及學(xué)術(shù)研究等單位。
  輪廓式測量投影儀之高度分辨率可達(dá)0.1 nm,而搭配使用Z垂直軸量測掃描行程更可達(dá)到100mm,且水平軸向亦可達(dá)次微米解析,除此輪廓式測量投影儀可透過計(jì)算機(jī)控制移動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行水平掃瞄,使其水平軸向量測范圍可達(dá)到150 × 150mm,并可依據(jù)客戶需求修改平臺(tái)尺寸。輪廓式測量投影儀搭配快速的校正程序以及演算原理,系統(tǒng)校正結(jié)果可以追朔至NIST標(biāo)準(zhǔn),并結(jié)合數(shù)種創(chuàng)新且強(qiáng)固可靠的算法,因此本系列產(chǎn)品可同時(shí)擁有高度以及大范圍量測的特質(zhì)。
  傳統(tǒng)的機(jī)械零件由于受加工設(shè)備的限制,對精度包括平面度,粗糙度的要求常規(guī)下停留在微米量級(jí)。但隨著技術(shù)發(fā)展,人們對機(jī)械零件的加工精度要求開始向納米量級(jí)邁進(jìn),設(shè)備加工精度的提高帶動(dòng)檢測技術(shù)的發(fā)展,傳統(tǒng)的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對檢測納米量級(jí)精度的機(jī)械零件有很大的局限性。
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